随着电子产品的更新换代，FPC(柔性线路板)凭借其独特的优势迎合了电子产品轻、薄、短、小的发展趋势，在电子信息产业领域扮演了重要的基石角色。随着信息化、智能化建设的不断推进，市场对柔性线路板的需求也将越来越大。

就手机市场而言，到2018年，全球三分之一的消费者将是智能手机用户，广东单面FPC线路板，总数超过25.6亿人。每部智能手机采用5～12片FPC，如此巨大的市场必然带动与之相关领域的飞速发展，智能手机的相机模组、天线、显示器、USB排线等等都离不开FPC的身影。

除了手机，汽车电子化市场也是FPC的主战场，车用的控制系统，如仪表板显示、空气品质、音响、显示器、传感器等，高讯号传输量和高信赖度的要求使FPC开始展现其优点。

东莞市企豪电子有限公司是一家生产软性电路板、上海宝钢等几大钢厂的一级总代理商。以精良鼎博的质量构筑服务为基础，以细致的服务托展为营商态度，始终创立于中国华南地区的同类行业品牌首列。拥有完善的技术研发力量和成熟的售后服务团队。我们的宗旨是：“用服务与真诚来换取你的信任与支持，互惠互利，共创双赢！”我公司愿与国内外各界同仁志士竭诚合作，共创未来！

我国进口半导体设备的状况

2015 年我国进口半导体设备的进口数量及进口金额如表 2 所示。进口金额很大的前 5 类设备分别为等离子体干法刻蚀机、分步重复光刻机、全自动引线键合机、氧化/扩散炉和物理相沉积设备（PVD）。进口数量最多的前 5 类设备分别是全自动引线键合机、晶圆切割设备、IC 工厂专用自动搬运机器人、化学气相沉积设备（CVD）和等离子体干法刻蚀机[2]。

但是，近年来，随着我国 02 专项的集成电路重大装备研发及产业化项目的推进，有些设备如等离子体干法刻蚀机、先进封装光刻机、全自动引线键合机、物理相沉积设备（PVD）和化学气相沉积设备（CVD，广东单面FPC线路板，包括PECVD）等国产设备已逐步进入国内集成电路大生产线量产使用。国产设备替代进口设备的进程正在逐步推进[2]。

图 2 展示了 2015 年 13 类进口设备的分布情况。

3  我国国产半导体设备业的发展状况

3.1．我国国产半导体设备业的销售收入、交货值和利润额

2016 年 9 月，在厦门举行的我国半导体设备年会上，中国电子专用设备工业协会公布了 2015 年我国半导体设备业发展的详细信息，并对 2016 年的情况进行了预估。

2015 年我国半导体设备业的产品结构如图 3 所示。其中，集成电路设备已占行业产品的主体，2015 年销售额为 22.92 亿元，占行业销售收入的 49%；太阳能电池片设备的销售额为 15.45 亿元，占行业销售收入的 33%； LED 设备的销售额为 5.86 亿元，占  12%；分立器件及其他设备的销售额为 2.94 亿元，仅占 6% 左右。

2013～2015 年我国各类半导体设备的销售收入及增长情况如表 3 所示。图 4 展示了2013～2015 年我国各类半导体设备销售收入的发展趋势。

3.2．我国进入生产线正式使用的国产高等半导体设备

2015 年，在我国国产半导体设备销售收入取得大幅增长的同时，一批高等

集成电路设备成功进入超大规模集成电路晶圆生产线和先进封装生产线正式量产使用。

表 4 列出了 2015 年进入超大规模集成电路晶圆生产线量产使用的有代表性的晶圆前道制造设备。表 5 列出了 2015 年进入集成电路先进封装生产线量产使用的有代表性的先进封装设备。

2015 年，随着国内 6 条高亮度 LED 国产化示范生产线建设，加快了国产 LED 芯片关键设备的发展进程。2015 年进入高亮度 LED 国产化示范生产线的有代表性的国产设备如表 6 所示。

2015 年，随着国内太阳能电池芯片生产线的改建和扩建，一批智能化、自动化的太阳能电池芯片制造新设备也进入太阳能电池芯片生产线，其中有代表性的设备如表 7 所示。

4  2016 年我国国产半导体设备的发展状况

据中国电子专用设备工业协会估测，2016 年我国国产半导体设备的销售收入达到 57 亿元，比 2015 年增长 20.8%，各类设备的销售规模及增长率如表 8 所示。由此可见，单面FPC线路板，2016 年我国半导体设备制造业进一步加快发展。

总之，在国家科技重大专项02 专项和国家集成电路产业发展投资金额的大力支持下，2016 年又有多项研发的高等集成电路设备进入验证和验收程序，或者进入国内外主流集成电路生产线生产运营，国产集成电路设备销售收入又有 20.8% 以上的快速稳步增长。

与此同时，国内光伏产业在经历了 2012～2013 年大幅度调整的基础上，继续保持理性、健康发展。国家的“光伏扶贫”和“领跑者项目”等政策扶持措施已成为我国光伏市场新的增长点。光伏企业将通过进一步扩大产能和加快淘汰落后生产线设备来降低产品成本和提高企业效益，这给我国太阳能电池芯片设备制造厂商带来了新的发展机遇。

但在 2016 年，LED 市场受恶性竞争的影响，导致业内多数企业亏损，行业投资减少，致使 LED 设备销售增长滞缓。估计到 2017 年将LED 市场调整到理性、有序发展轨道之后，LED 设备的销售情况会有所好转。

在“第十一届（2016 年度）中国半导体创新产品和技术”项目评选中，有 12 项国产半导体设备获得入选，如表 9 所示。

5  2016 年中国半导体设备五强企业

经中国半导体行业协会评选及公布的 2016 年中国半导体设备五强企业如表 10 所示。

6  结语

在中国国内，半导体设备业和半导体材料业通称为半导体支撑业。根据中国电子专用设备工业协会的估测，2016 年国产半导体设备的销售规模为57.0 亿元，同比增长 20%[3]。

近年来，在国内集成电路产业持续快速发展的带动下，国内半导体设备业呈现出高增长的势头。在国家科技重大专项 02 专项和各级地方政府科技创新专项的大力支持下，多种先进制造设备开始替代进口设备，在国内集成电路大生产线上运行和使用。

东莞市企豪电子有限公司是一家生产软性电路板、上海宝钢等几大钢厂的一级总代理商。以精良鼎博的质量构筑服务为基础，以细致的服务托展为营商态度，始终创立于中国华南地区的同类行业品牌首列。我们的产品主要用于电炉、锅炉、电热设备、五金机电化工、纺织、印染、制药、精密机械设备、压力容器等诸多行业，广东单面FPC线路板，客户遍布全国各地。

软 板近年来因为资通讯电子产品行动化风潮的带动下，整体成长率较硬板为高，因为软板本身的特性与终端应用产品需求相同，轻量薄型的诉求应该会持续成为软板成

长的驱动力。图一是单面软板基材种类生产数量的演进推移，在接着剂型(3L-FCCL)基材无卤化比例年加重，这是电路板材料无可避免的趋势，另外在无接

接着剂型(2L-FCCL)基材的成长幅度也会高于3L-FCCL，至于强调低吸水、低介电与可回收环保素材的LCP软板基材尚处于起始阶段，产量预估不

同预期。估计在2010年后方有量产产品，其市占率也仅有约5%以下，主要原因是LCP材料的高温加工性、制程兼容与材料异方性的问题还要在技术上做改

善，所以在成长力道上会有些减缓。近来因为单面2L-FCCL的生产技术改善，制造良率增加，再加上生产数量的扩大，其售价已逼近3L-FCCL，因此已

开始挤压到3L-FCCL的市场占有率，预计二者间的市场比例将逐渐拉近，甚至在销售额上2L-FCCL的数目已经超越3L-FCCL。

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